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FST 6000 在線薄膜應力測量儀
可測量晶圓類光電薄膜樣品的弓高、翹曲、輪廓形貌、曲率半徑和薄膜應力
1高通量的工藝控制需求方案
2 雙波長掃描
3 全自動測量
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產品介紹
Product Introduction
基于經(jīng)典基片彎曲法Stoney公式測量原理，采用先進的激光掃描方式和探測技術，以及智能化的操作，使得FST5000薄膜應力儀特別適合于晶圓類光電薄膜樣品的弓高、翹曲、輪廓形貌、曲率半徑和薄膜應力測量和計算。