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FST1000 薄膜應(yīng)力測(cè)量?jī)x
硬質(zhì)涂層殘余應(yīng)力測(cè)量，可測(cè)范圍：0.1GPa~10 GPa量級(jí)
1易操作
2 全自動(dòng)測(cè)量
3 高性價(jià)比
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試用產(chǎn)品:
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產(chǎn)品介紹
Product Introduction
基于經(jīng)典基片彎曲法Stoney公式測(cè)量原理，采用先進(jìn)控制技術(shù)和傻瓜化的操作，使得FST1000薄膜應(yīng)力儀特別適合于要求快速測(cè)量硬質(zhì)涂層等薄膜殘余應(yīng)力（典型值0.1GPa到10 GPa量級(jí)）。

源自中科院金屬研究所和深圳職業(yè)技術(shù)學(xué)院相關(guān)研究成果轉(zhuǎn)化！ 專(zhuān)利號(hào)：CN204854624U；CN203688116U；CN100465615C
基本參數(shù)
Product Specification
技術(shù)規(guī)格 參數(shù)
基本原理 激光曲率法 基于Stoney公式
薄膜應(yīng)力測(cè)試范圍 10M-50GPa
曲率半徑測(cè)試范圍 0.5-50m
薄膜應(yīng)力計(jì)算精度 小于3%
曲率半徑重復(fù)精度 ＜2%
測(cè)試平臺(tái)行程 X方向：30 mm / Y方向：100 mm；步長(zhǎng)：Min 0.1 mm
樣品尺寸 建議長(zhǎng)寬比>5:1的長(zhǎng)方形樣品；典型尺寸：10×50×1 mm
樣品校正 可計(jì)算校正原始表面不平直影響（對(duì)減模式）
主要功能 可建測(cè)量樣品材料參數(shù)、測(cè)量參數(shù)數(shù)據(jù)庫(kù) 自動(dòng)測(cè)量樣品表面輪廓、曲率、弓高等數(shù)據(jù) 自動(dòng)計(jì)算曲率半徑和薄膜應(yīng)力 2D/3D 可視化樣品表面輪廓、曲率半徑、弓高、薄膜應(yīng)力等數(shù)據(jù)
工作溫度 0-50℃
操作軟件 視窗界面/適用于Windows 10 系統(tǒng)
操作電腦 配置優(yōu)于 2GHz CPU、 8G 內(nèi)存、256G 硬盤(pán)，不小于21寸顯示屏 知名品牌一體機(jī)
重量尺寸 ～25kg / ～650 mm寬×350 mm 深×400 mm高