CN
J20 雙靶離子濺射儀
可噴鍍金屬：Au、Pt、Pd、Ir等單金屬和任意組份的 Pt-Au、Pt-Pd 合金等
1雙靶磁控濺射陰極：無(wú)需換靶、特色疊噴工藝
2 觸摸屏一鍵自動(dòng)化：使用便捷、省時(shí)省心
3 標(biāo)配模塊化旋轉(zhuǎn)偏轉(zhuǎn)樣品臺(tái)：3D粉末類樣品噴鍍
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試用產(chǎn)品:
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產(chǎn)品介紹
Product Introduction
場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡較燈絲電鏡具有更高的分辨率，其放大倍率可以提高至 10 萬(wàn)倍量級(jí)，所以對(duì)噴金儀器的顆粒度提出更高的要求，不僅要求顆粒細(xì)膩不要覆蓋樣品表征，而且要在荷電消除和襯度提高上有所增益。

場(chǎng)發(fā)射 SEM 電鏡制樣常規(guī)的應(yīng)對(duì)方案是噴鍍 Pt 金屬，但 Pt 的漏電能力和電子信號(hào)激發(fā)能力不如Au，特別是在 3D 粉末類、多孔類及隔膜類樣品場(chǎng)景，僅靠噴鍍 Pt 難以通用。

因此，我們?cè)O(shè)計(jì)了雙靶離子濺射儀，并開(kāi)發(fā)出疊層工藝：先噴 Pt 后噴 Au，可以通過(guò) Pt 對(duì)樣品先形成保護(hù)，然后通過(guò) Au 提高樣品的漏電能力和信號(hào)量，起到抑制荷電和提高形貌襯度的雙重作用，結(jié)合少量多次、旋轉(zhuǎn)偏轉(zhuǎn)等方式，讓 SEM 成像更優(yōu)質(zhì)。
基本參數(shù)
Product Specification

技術(shù)規(guī)格

參數(shù)

真空泵

 高性能旋片泵

抽速

  ≥ 4m3/h

極限真空

  < 1Pa

工作氣壓

  4 -10Pa

抽真空時(shí)間

  < 2-3Min

真空規(guī)

  皮拉尼真空計(jì)

腔室尺寸

  ~Ø150*120mm

旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)

  直徑：80mm；轉(zhuǎn)速：60RPM；靶基距：55-70mm連續(xù)可調(diào)

濺射靶材

  靶材尺寸 Ø 30*0.2-1mm/2片，支持單靶濺射和雙靶順序?yàn)R射兩種模式

濺射電源

  恒功率DC濺射電源 Max. 30W ，Max. 100mA，0-800 V DC

操作方式

  觸摸屏控制，控制系統(tǒng)提供互鎖保護(hù)功能

重量

  主機(jī)~15kg

尺寸

  ~250mm長(zhǎng) *360mm深 *374mm高

電源

  100-240V AC，50/60Hz 接地三腳插頭

功耗

  <500 W

質(zhì)保

  一年

備注

  以上所列技術(shù)規(guī)格與參數(shù)更新恕不另行通知，如有疑問(wèn)請(qǐng)聯(lián)系我們
應(yīng)用案例
Application cases
普通樣品場(chǎng)景
粉末、隔膜類樣品場(chǎng)景
易損傷樣品場(chǎng)景
花粉
蝴蝶翅膀
芯片
普通樣品場(chǎng)景 (平面樣品，類比平路)：J20（SUV）基本等同于常規(guī)的單靶離子濺射儀（轎車）， 甚至單靶高真空離子濺射儀效果
鋰電前驅(qū)體粉末-噴鍍Pt
鋰電前驅(qū)體粉末-噴鍍Pt-Au疊層合金
鋰電前驅(qū)體粉末-噴鍍Au

同樣的噴鍍條件，噴Au荷電消除效果顯著，但可清晰看到Au顆粒，Pt荷電未消除，Pt-Au疊層樣品既沒(méi)有荷電也看不清金屬顆粒。


3D樣品場(chǎng)景(粉末、多孔、纖維等，類比山路): J20傾角雙陰極+旋轉(zhuǎn)偏轉(zhuǎn)+疊層工藝，實(shí)現(xiàn)全方位多角度大面積沉積，其荷電效果和圖像效果優(yōu)于單靶噴Pt效果
聚乙烯薄膜-未噴鍍
聚乙烯薄膜-噴鍍Pt-Au疊層合金
聚乙烯薄膜-噴鍍Pt-Au疊層合金
沒(méi)噴鍍之前5K倍成像已出現(xiàn)納米線黏連變形的現(xiàn)象，分兩次共濺射鉑40秒加固結(jié)構(gòu)，然后加鉑5秒+22秒金 ，期間保持樣品臺(tái)旋轉(zhuǎn)（20RPM）加傾斜±30度連續(xù)改變，30K倍可清晰成像。

易損傷樣品場(chǎng)景:在處理脆弱敏感材料的時(shí)候，可以先噴Pt對(duì)樣品的表面形成保護(hù)，然后噴Au去提升樣品的漏電能力和信號(hào)量，結(jié)合樣品的旋轉(zhuǎn)偏轉(zhuǎn)增加金膜覆蓋的均勻程度，最后得到形貌更真實(shí)且清晰的圖像。