技術(shù)規(guī)格

參數(shù)

適用場(chǎng)景

 大面積高分辨/超高分辨 場(chǎng)發(fā)射電鏡 FESEM 導(dǎo)電膜噴鍍

真空泵組

 渦輪分子泵+無油隔膜泵

抽速

 ≥隔膜泵 1.5 m³/h +分子泵 80L/S

極限真空

  10^-4 Pa 量級(jí)

工作氣壓

  典型值 0.3-1 Pa

氣體控制

  恒流控制，MFC氣體質(zhì)量流量控制器（50 SCCM N₂）

啟動(dòng)時(shí)間

  < 5-10 Min 到10^-3 Pa 量級(jí)

濺射計(jì)時(shí)

  0-600S

真空規(guī)

  高真空復(fù)合真空計(jì)【大氣壓到10^-5 Pa 量級(jí)】

腔室尺寸

  ~ Ø350 *100 mm

樣品臺(tái)

  Ø300 mm 旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)，最大可以放置12英寸晶圓

  旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)速：5-30RPM 連續(xù)可調(diào)

  靶基距50-80 mm可調(diào)

濺射靶材

  靶材尺寸 Ø50 * 0.2-1 mm/2只

  貴金屬：Au、Pt、Pd、Ir等

  易氧化金屬： W、Cr、Ag等

濺射電源

  恒功率DC濺射電源

  Max. 30W ，Max. 100 mA，0-800 V DC

進(jìn)氣口

  Ø6 mm氣管

操作方式

  觸摸屏控制，控制系統(tǒng)提供互鎖保護(hù)功能

尺寸重量

  ~450mm長(zhǎng) *500mm深 *450 mm高

 主機(jī)~50 kg

電源

  220V AC,  500W Max.

質(zhì)保

  一年

備注

  所列技術(shù)規(guī)格與參數(shù)更新恕不另行通知，如有疑問請(qǐng)聯(lián)系我們